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 HIROX三维视频显微镜
  KH-8700
  KH-7700
  KH-1300
  镜头系列
  扩展接口
  应用举例
 HIROX桌上型扫描电镜
 HIROX便携式数字显微镜
 共聚焦干涉显微轮廓仪
 MEIJI光学显微镜
 长工作距离显微镜
 远距离监视仪
数字显微镜/光学显微镜/扫描电子显微镜等
SMT/SEMICONDUCTOR/FPD等电子工业检测设备
太阳能电池片检测设备
工业无损探伤检测设备
司法/刑侦检测设备
生命科学相关设备
 
 
 

Non-contact Confocal·Interferometry 3D Profiler
共聚焦·干涉显微轮廓仪

   非接触式高性能光学三维轮廓仪领域的最新成就-S neox将共聚焦影像轮廓技术和光学干涉测量技术结合在一个没有任何移动部件的探测部头(SensorHead),能够可靠的、准确的测量毫米级至亚纳米级尺度样品表面形貌细节!凭借紧凑和坚固的硬件设计,功能优异的操作界面,S neox成为一种拥有完整的,可获得快速、非侵入性评估微米和纳米级几何表面的理想工具。其可用于从各种行业RD及QC实验室,到灵活对不同尺寸大小样品,乃至到专为在线过程控制所用的各种先进、定制解决方案。S neox优于所有现有的光学轮廓仪。

 

  多焦面叠加

  多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据我们在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验,特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(最大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。

共聚焦(Confocal)

  共聚焦轮廓仪可以测量较光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虚焦部分光线的共焦成像系统,可提供高对比度的图像。借由表面的垂直扫描,物镜的焦点扫过表面上的每一个点,以此找出每个像素位置的对应高度最新的实时影像处理引擎"GENEX Engine"配备了世界上最快的211万像素CCD相机,可实现最快高达24帧/秒的实时图像直接输出。基于对各种场合和观察操作的假设,我们致力于提供自然、舒适、易用和人机工效极佳的数字式显微镜。
  无运动部件的共聚焦

  NEOX系列是采用专利设计的Microdisplay共聚焦扫描技术。Microdisplay使用FLCOS原理,可实现无需机械运动的快速共聚焦扫描。它具有高速,稳定和无限使用时间的特点。现有的其他品牌共聚焦显微镜都采用镜片震动扫描的方式,因为有机械震动会造成测量时抖动,使用时间也有限。



   
  相位差干涉

相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。

干涉(Interferometry)


干涉仪中光束会穿过分光镜,分别照射到样品表面及一个内置的参考镜片,两路光线反射后会形成干涉条纹。
  白光干涉

白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。

 

   

多波长的LED光源-红/蓝/绿/白

S neox有4个独立的LED光源红色(630nm),绿色(530nm),蓝色(460nm)和白色,可以满足各种应用的需要。较短的光波长可在测量时候获得最好的水平分辨率。较长的光波长有更好的光学相干性,适合干涉扫描使用。此外红、绿、蓝三色LED交替照明方式还能帮助获得最真实和高对比度的图像。

● 顺序照明的彩色图像
每个像素点都能还原真实的色彩

● 交替照明
在扫描时红、绿、蓝三色LED交替照明,并将三张单色的图片还原成一幅高分辨率的彩色图像。相比其他品牌采用像素插值算法,S neox用这种技术获得的图片色彩保真度和还原性更胜一筹。

 
  3D形貌的最新体验

  彩色共聚焦观察方式使用户能在视场内观察到纳米级的细节。扫描时用红、绿、蓝三色LED交替照明,获得三张单色的图像,最后还原成高分辨率彩色图像和高质量的彩色表面纹理图。

● 超清晰的细节
用高分辨率的摄像头将共聚焦的图像精彩呈现

● 全3D扫描不用3秒
一次完整的3D扫描时间还不到10秒。用高速模式扫描低反射率的样品时,3D扫描时间将少于3秒。


* 比激光共聚焦更优秀?

根据瑞利分辨率标准。当一个点光源产生的爱里斑的中心正好落在第二个点光源所产生的爱里斑的第一个暗纹上,则他们是“刚刚能分辨”的两个点。

要提高水平分辨率就要减小入射光波长λ和用更高NA值的物镜。常数K是与爱里斑的宽度和图像条件决定的。共聚焦技术将爱里斑的横向尺寸减小了30%。此外设备还用非相干照明替代了相干光源(激光),以进一步减小了常数K。

因此,S neox的水平分辨率和纵向分辨率要比激光共聚焦显微镜更优秀,达到了光学显微系统的极限。

 

  多样的配置方案-平台尺寸


高质量的物镜,最好的成像质量

S Neox采用尼康优质的平场消色差,高分辨率CF60-2系列镜头,
意味着S neox的物镜可在保证NA值的同时增大工作距离,
使操作更方便。

SensoSCAN-测量及分析软件

● 为您省时省力

  SensoSCAN是一款简洁友好的操作软件。它将引领用户进入3D的世界,提供独一无二的用户体验。在软件界面内,用户可以直观明确地了解所用的测量方式,同时还能显示和分析数据。

● 完善系统的完美工具

  导航预览功能可以自动地帮助用户在准备测量前大范围观察样品,找到测量点。当转换倍数时,预览图上也会实时显示当前的观察点位置。

● 智能编程,全自动测量

  全自动测量是一项标准功能,通过它用户能轻易地实现可定制的质量管控。对在线测量来说,用户可以方便地实现产品ID输入、自动走位测量、自动数据输出和PASS或FAIL的判断。
  独特的算法使S neox能在放置样品后不到一分钟就给出结果。所有的数据都是我们专注于质量和高性能的成果。



 

 
     
 
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